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聶蘭艦
聶蘭艦
中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院有限公司教授級(jí)高工

聶蘭艦，教授級(jí)高工，現(xiàn)任建材工業(yè)石英玻璃重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任及石英新材料研究所副所長(zhǎng)。自2011年工作以來(lái)，一直從事高性能石英玻璃材料的制備技術(shù)、裝備與標(biāo)準(zhǔn)化等研究工作。先后作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人主持國(guó)家級(jí)科研項(xiàng)目10項(xiàng)，重點(diǎn)參與國(guó)家級(jí)科研項(xiàng)目十余項(xiàng)，研制出慣導(dǎo)用高均勻石英玻璃、大尺寸零膨脹石英玻璃、全合成石英管、無(wú)氯抗輻射石英玻璃、間接法合成高純無(wú)水石英玻璃和摻雜功能石英玻璃等多項(xiàng)石英玻璃新材料，為航天、強(qiáng)激光、半導(dǎo)體和精密光學(xué)等領(lǐng)域提供了關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，獲授權(quán)專利31件（其中授權(quán)發(fā)明22件）、發(fā)表論文20余篇、參與論著2部、制修訂標(biāo)準(zhǔn)20余項(xiàng)，榮獲科技獎(jiǎng)7項(xiàng)。


演講摘要：

本報(bào)告深入探討高純石英材料制品在半導(dǎo)體制造中核心應(yīng)用價(jià)值。其獨(dú)特的物理和化學(xué)特性，如耐高溫、耐腐蝕、低膨脹和高度絕緣等，使其成為半導(dǎo)體工業(yè)中不可替代的基礎(chǔ)性材料。

在半導(dǎo)體制造過程中，高純石英制品被廣泛應(yīng)用于硅片制造、晶圓制造和芯片制造等各個(gè)環(huán)節(jié)。特別是在硅片制造中，石英坩堝是拉制單晶硅棒的關(guān)鍵部件；在晶圓制造中，石英玻璃擴(kuò)散管、石英舟等石英玻璃器具被大量使用；在芯片制造中，光刻、刻蝕和薄膜沉淀等工藝環(huán)節(jié)也需要使用高純石英材料制品，如光掩膜基板等。

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)高純石英材料制品的要求也越來(lái)越高。未來(lái)，隨著物聯(lián)網(wǎng)、區(qū)塊鏈、汽車電子等新興技術(shù)的不斷涌現(xiàn)，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)高端石英產(chǎn)品的需求量有望繼續(xù)保持增長(zhǎng)，高純石英材料制品在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用前景廣闊。